快科技10月25日消息，重大自主据华中科技大学官微消息，突破近日，芯片该校武汉光电国家研究中心团队，光刻攻克在国内率先攻克合成光刻胶所需的胶关键技原料和配方，助推我国芯片制造关键原材料突破瓶颈。术被设计

据介绍，原材其研发的料全T150A光刻胶系列产品，已通过半导体工艺量产验证，部国实现了原材料全部国产，产配配方全自主设计，重大自主有望开创国内半导体光刻制造新局面。突破

公开资料显示，芯片光刻胶是光刻攻克一种感光材料，用于芯片制造的胶关键技光刻环节，工作原理类似于照相机的胶卷曝光。芯片制造时，会在晶圆上涂上光刻胶，在掩膜版上绘制好电路图。

当光线透过掩膜版照射到光刻胶上会发生曝光，经过一系列处理后，晶圆上就会得到所需的电路图。

由于光刻胶是芯片制造的关键材料，国外企业对其原料和配方高度保密，目前我国所使用的光刻胶九成以上依赖进口。

武汉光电国家研究中心团队研发的这款半导体专用光刻胶对标国际头部企业主流KrF光刻胶系列。

相较于国外同系列某产品，T150A在光刻工艺中表现出的极限分辨率达到120nm，且工艺宽容度更大、稳定性更高、留膜率更优，其对刻蚀工艺表现更好，通过验证发现T150A中密集图形经过刻蚀，下层介质的侧壁垂直度表现优异。

团队负责人表示：“以光刻技术的分子基础研究和原材料的开发为起点，最终获得具有自主知识产权的配方技术，这只是个开始。我们团队还会发展一系列应用于不同场景下的KrF与ArF光刻胶，致力于突破国外卡脖子关键技术，为国内相关产业带来更多惊喜。”

• ·受台风“天鸽”影响 南昌铁路停售部分动车车票
• ·夏季理财市场热度高 人民币理财和国债都抢手
• ·九号公司亮相链博会，共助绿色出行
• ·今日加油站油价最新消息 国际油价下跌加一箱油省了
• ·9月22日：今日主力资金净流入\流出前50只个股名单
• ·乐天其他业务不考虑退出中国 乐天玛特停业87家
• ·贝因美筹划重大事项 涉及向关联方出售乳制品上游资产
• ·31省晒上半年GDP成绩单 各地增速图表&经济总量排名
• ·男子称玩投币游戏3年花了六七十万 有时一天打掉一两万
• ·来用车怎么样 以租代购的“来用车”完成1亿元A轮融资
• ·京东首笔5.0亿美元贷款银行团会议将在香港举行
• ·白马股行情再升温 两市双双五连阳
• ·中国外卖有多火 行业分析在线餐饮外卖市场达1662亿元
• ·华为阅读启动“乘国航 阅世界”国航伴读计划，3重好礼免费领！
• ·揭秘薛之谦商业版图 入围2017中国名人收入榜前100名
• ·白马股行情再升温 两市双双五连阳